Мягков,А.Т. <br/><br/>
Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / 
А.Т.Мягков, Е.М.Корсетов 
 - Москва :  Энергия ,  1979. 
 - 312 с. 
<br/><br/>Библиогр.:с.305-310 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3.049