TY  - BOOK
AU  - Корнилов,Р.В.
AU  - Сандеров,В.Л.
TI  - Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
U1  - 621.3.049  
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.:с.101-103
ER  -