TY  - BOOK
AU  - Мурашова,Н.Н.
TI  - Полупроводниковые структуры и средства управления технологическими процессами
U1  - 621.315  
PY  - 1979///
CY  - Кишинев
PB  - Штиинца
KW  - Полупроводниковые структуры
N1  - Библиогр.:в конце глав
ER  -