Полупроводниковые структуры и средства управления технологическими процессами / 

 - Кишинев :  Штиинца ,  1979. 
 - 132 с. 
<br/><br/>Библиогр.:в конце глав 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые структуры 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.315