Чистые помещения/, Пер. с японского, В. Ю. Акифьева, Л. Н. Дмитрука, М. Е. Панюкова - Москва: Мир, 1990. - 456с.

Библиогр.:с.439-450


Приведена классификация чистых помещений,

621.3