TY  - BOOK
AU  - Шалина,Л.В.
TI  - Рост и легированив полупроводниковых кристаллов и пленок  
U1  - 539.23 
PY  - 1977///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука
KW  - Полупроводники
N1  - Часть 2 (1977, 360 с., Библиогр. в конце глав)
ER  -