Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок - Новосибирск : Наука , 1977. - Часть 1 Часть 1 ( 1977 , 328 с.; Библиогр. в конце глав ) Subjects--Topical Terms: Полупроводники Dewey Class. No.: 539.23