TY  - BOOK
AU  - Метфессель,С.
AU  - Меламида,А.Е.
TI  - Тонкие пленки,их изготовление и измерение
U1  - 539.238 
PY  - 1963///
CY  - Москва - Ленинград
PB  - Госэнергоиздат
KW  - Тонкие пленки
N1  - Библиогр.:в конце глав
ER  -