Ионная имплатация /
Риссел,Х.
Ионная имплатация / Technologie der fraunhofer Х.Риссел, И.Руге :Пер. с немец. В.В.Климова, В.Н.Пальянова - Москва : Наука , 1983. - 360 с.
Библиогр.: с. 345-359
Ионная имплатация
539.1
Ионная имплатация / Technologie der fraunhofer Х.Риссел, И.Руге :Пер. с немец. В.В.Климова, В.Н.Пальянова - Москва : Наука , 1983. - 360 с.
Библиогр.: с. 345-359
Ионная имплатация
539.1