Производство полупроводникового кремния /
Салли,И.В.
Производство полупроводникового кремния / И.В.Салли, Э.С.Фалькевич - Москва : Металлургия, 1970. - 152 с.
Библиогр.: с. 141-150
Полупроводникы
539.293:629.782
Производство полупроводникового кремния / И.В.Салли, Э.С.Фалькевич - Москва : Металлургия, 1970. - 152 с.
Библиогр.: с. 141-150
Полупроводникы
539.293:629.782