Технология производства полупроводниковых приборов/
Гаврилов, Р. А.
Технология производства полупроводниковых приборов/ Р. А. Гаврилов, А. М. Скворцов, - Ленинград: Энергия, 1968. - 240 с.
Библиогр.: с.229-237
Технологические процесы
621.382.2/3 Г 124
Технология производства полупроводниковых приборов/ Р. А. Гаврилов, А. М. Скворцов, - Ленинград: Энергия, 1968. - 240 с.
Библиогр.: с.229-237
Технологические процесы
621.382.2/3 Г 124