Расчет комплексов оборудования микроэлектроники /
Корнилов,Р.В.
Расчет комплексов оборудования микроэлектроники / Р.В.Корнилов, В.Л.Сандеров - Москва : Энергия , 1979. - 104 с.
Библиогр.:с.101-103
Микроэлектроника
621.3.049
Расчет комплексов оборудования микроэлектроники / Р.В.Корнилов, В.Л.Сандеров - Москва : Энергия , 1979. - 104 с.
Библиогр.:с.101-103
Микроэлектроника
621.3.049