Чистые помещения/,
Чистые помещения/,
Пер. с японского, В. Ю. Акифьева, Л. Н. Дмитрука, М. Е. Панюкова
- Москва: Мир, 1990.
- 456с.
Библиогр.:с.439-450
Приведена классификация чистых помещений,
621.3
Библиогр.:с.439-450
Приведена классификация чистых помещений,
621.3